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全部

110Vac & 220Vac

85 - 264 VAC; 120 - 300 VDC

90 - 264 VAC, 127 - 300 VDC

全部

3.21"*2.21"*1.13"

0.267*0.825*0.846

0.375*1.95*1.55

0.4*0.774*0.242

0.45 x 0.40 x 0.3

0.745*0.495*0.335

0.77*0.394*0.236

0.774*0.4*0.242

0.774*0.4*0.301

0.846*0.22*0.825

0.870*0.495*0.335

0.995*0.620*0.354

1.0 * 1.0 * 0.433

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1.37*0.620*0.354

1.370*1.120*0.354

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1.57*3.07*13.29

1.67*5.5*14.2　

1.72*1.11*0.235

1.89*0.95*0.315

10.00*4.06*2.50

10.00*5.00*1.95

10.00*5.00*2.50

10.00*6.97*2.50

10.04*4.26*1.97

10.20*3.39*1.59

10.31*6.762*1.584

10.311* 6.762*1.584

10.55*7.01*2.40

10.94*3.74*1.38

10.94*5.51*1.77

11.20*4.00*1.65

11.5”*5.5”*1.6

11.70*5.00*2.50

11.82*7.88*3.82

117.3x61.5x12.7mm

12.12*5.00*5.00

12.45*4.00*1.61

12.65*4.21*1.74

12.80*4.75*1.60

13.39*11.82*3.82

14.12*5.00 *5.00

14.25*4.00*1.65

15.38*4.00*1.61

17.72*5.9*12.60

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2.0 (W) x 4.0 (L) x

2.0” x 3.0” x 1.0”

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產品資料

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光線溫度傳感器Luxtron

光線溫度傳感器Luxtron

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如果您對該產品感興趣的話,可以

產品名稱: 光線溫度傳感器Luxtron

產品型號: Luxtron m920

產品展商: Advanced Energy

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

用於 OEM -100ºC 至 330ºC 的光纖溫度傳感係統 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和雙通道 m922 半導體模塊經過精心設計，可對蝕刻器和靜電吸盤、腔室和其他設備等晶圓製造設備進行溫度監測。混合和匹配組件可使用當前半導體 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探頭和光纖延長線內置校準表可匹配定製 AE 探頭，實現高精度測量 *大可實現精度為 ±0.05°C（視探頭而定)

光線溫度傳感器Luxtron 的詳細介紹

完整的 Luxtron® m920 係列 OEM 解決方案采用電子模塊組件製造，配備兩個主板和探頭。主板包含光纖溫度傳感通道、數字輸出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和電源連接。模擬輸出板安裝在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 輸出。還可以選擇金屬外殼。

m920 係列係統采用 Fluoroptic® 技術。m920 係列主板可對來自 Fluoroptic 探頭的測量信號進行調製，然後將校準的溫度報告給 OEM 控製係統。

優點

為不同的蝕刻和晶圓製造過程實現高精度和高溫範圍
以快速采樣率監測更快的斜坡條件
使用這種低噪聲解決方案獲得更**的溫度測量結果
充分利用產品的出色可靠性，降低故障率
獲得支持在全球範圍內支持定製集成和探頭設計

特點

雙通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可擴展至多達 64 通道
單 PCB 設計，具有模擬輸出和金屬外殼等選項
高電壓、射頻、等離子體和微波等不會對探頭產生電磁幹擾
可向後兼容 Advanced Energy 彈簧加載和 Accudisc 探頭
可為半導體應用提供定製探頭

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